潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2013

　　中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

　　潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

　　Codefordesignofcleanroom

　　GB50073-2013

　　主編部門(mén)：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

　　批準(zhǔn)部門(mén)：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

　　施行日期：2013年9月1日

　　中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

　　第1627號(hào)

　　住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

　　現(xiàn)批準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB50073-2013，自2013年9月1日起實(shí)施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001同時(shí)廢止。

　　本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

　　中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

　　2013年1月28日

　　前言

　　本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2002-2003年度工程建設(shè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃>的通知》(建標(biāo)函〔2003〕102號(hào))的要求，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同對(duì)《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001修訂而成。

　　本規(guī)范在修訂過(guò)程中，修訂組結(jié)合我國(guó)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究和測(cè)試，認(rèn)真總結(jié)了《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001多年來(lái)實(shí)施的經(jīng)驗(yàn)，廣泛征求了全國(guó)有關(guān)單位的意見(jiàn)，最后經(jīng)審查定稿。

　　本規(guī)范共9章和3個(gè)附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語(yǔ)、空氣潔凈度等級(jí)、總體設(shè)計(jì)、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)管道、電氣等。

　　本規(guī)范主要的修訂技術(shù)內(nèi)容是：修改了第2章術(shù)語(yǔ);對(duì)第3章空氣潔凈度等級(jí)的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補(bǔ)充;修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”;修改了部分“強(qiáng)制性條文”為“非強(qiáng)制性條文”。

　　本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋?zhuān)晒I(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議，請(qǐng)寄送中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院(地址：北京市海淀區(qū)萬(wàn)壽路27號(hào)，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842)，以便今后修訂時(shí)參考。

　　本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

　　主編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

　　參編單位：信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司中國(guó)石油化工集團(tuán)上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院中國(guó)建筑科學(xué)研究院

　　主要起草人：陳霖新張利群王唯國(guó)繆德驊晁陽(yáng)趙海俞渭雄周春海秦學(xué)禮譚易和賀繼行肖紅梅樊勖昌張彥國(guó)黃德明牛光宏冷捷敏馮佩明

　　主要審查人：涂光備薛長(zhǎng)立王宗存張洪雁施紅平李兆堅(jiān)葉鳴孫志華萬(wàn)桐良

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司http://jerseycitycrossing.com/進(jìn)行整理編輯

　　1總則

　　1.0.1為了使?jié)崈魪S(chǎng)房設(shè)計(jì)符合節(jié)約能源、勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠，確保潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)質(zhì)量，制定本規(guī)范。

　　1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)。

　　1.0.3潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)應(yīng)是施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行的基礎(chǔ)。

　　1.0.4潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

　　2術(shù)語(yǔ)

　　2.0.1潔凈室cleanroom

　　空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

　　2.0.2潔凈區(qū)cleanzone

　　空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式。

　　2.0.3移動(dòng)式潔凈小室mobilecleanbooth

　　可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類(lèi)。

　　2.0.4人身凈化用室roomforcleaninghumanbody

　　人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.5物料凈化用室roomforcleaningmaterial

　　物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

　　2.0.6粒徑particlesize

　　給定的粒徑測(cè)定儀所顯示的、與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。

　　2.0.7懸浮粒子airborneparticle

　　用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。

　　2.0.8超微粒子ultrafineparticle

　　具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。

　　2.0.9微粒子microparticle

　　具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。

　　2.0.10粒徑分布particlesizedistribution

　　粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。

　　2.0.11含塵濃度particleconcentration

　　單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

　　2.0.12潔凈度cleanliness

　　以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。

　　2.0.13氣流流型airflowpattern

　　對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。

　　2.0.14單向流unidirectionalairflow

　　通過(guò)潔凈室(區(qū))整個(gè)斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。

　　2.0.15垂直單向流verticalunidirectionalflow

　　與水平面垂直的單向流。

　　2.0.16水平單向流horizontalunidirectionalflow

　　與水平面平行的單向流。

　　2.0.17非單向流non-unidirectionalflow

　　送入潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類(lèi)型。

　　2.0.18混合流mixedairflow

　　單向流和非單向流組合的氣流。

　　2.0.19潔凈工作區(qū)cleanworkingarea

　　除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。

　　2.0.20空氣吹淋室airshower

　　利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

　　2.0.21氣閘室airlock

　　設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

　　2.0.22傳遞窗passbox

　　在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開(kāi)啟的窗扇。

　　2.0.23潔凈工作臺(tái)cleanbench

　　能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái)。

　　2.0.24潔凈工作服cleanworkinggarment

　　為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

　　2.0.25空態(tài)as-built

　　設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。

　　2.0.26靜態(tài)at-rest

　　設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

　　2.0.27動(dòng)態(tài)operational

　　設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。

　　2.0.28已裝過(guò)濾器檢漏installedfiltersystemleakagetest

　　為確認(rèn)過(guò)濾器安裝良好、沒(méi)有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過(guò)濾器及其框架均無(wú)缺陷和滲漏所做的檢測(cè)。

　　2.0.29高效空氣過(guò)濾器highefficiencyparticulateairfilter(HEPA)

　　在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.30超高效空氣過(guò)濾器ultralowpenetrationairfilter(ULPA)

　　在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過(guò)濾器。

　　2.0.31純水puritywater

　　對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。

　　2.0.32防靜電環(huán)境antistaticenvironment

　　能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。

　　2.0.33表面電阻surfaceresistance

　　在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

　　2.0.34體積電阻volumeresistance

　　在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。

　　2.0.35表面電阻率surfaceresistivity

　　在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線(xiàn)密度之商。

　　2.0.36體積電阻率volumeresistivity

　　在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。

　　2.0.37專(zhuān)用消防口fire-fightaccess

　　消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專(zhuān)用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。

　　2.0.38自?xún)魰r(shí)間recoverytimeofcleanliness

　　潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)所需的時(shí)間。

　　2.0.39生物潔凈室biologicalcleanroom

　　潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。

　　2.0.40浮游菌airborneviablebacteria

　　懸浮在空氣中的帶菌微粒。

　　2.0.41沉降菌settlemenbacteria

　　降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。

　　2.0.42U描述符Udescriptor

　　每立方米空氣中包括超微粒子的實(shí)測(cè)或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。

　　2.0.43M描述符Mdescriptor

　　每立方米空氣中實(shí)測(cè)的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。

　　2.0.44工業(yè)管道industrialpipe

　　潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱(chēng)為工業(yè)管道。

　　3空氣潔凈度等級(jí)

　　3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)應(yīng)按表3.0.1確定。

　　表3.0.1潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)

 

　　注：按不同的測(cè)量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過(guò)3位。

　　2各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算：

 

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過(guò)三位數(shù);

　　N——空氣潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超過(guò)9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;

　　D——要求的粒徑(μm);

　　0.1——常數(shù)，其量綱為μm。

　　3當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí)，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

　　4空氣潔凈度等級(jí)的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說(shuō)明。

　　3.0.2空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

　　3.0.3空氣潔凈度的測(cè)試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。

　　3.0.4當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

　　4總體設(shè)計(jì)

　　4.1潔凈廠(chǎng)房位置選擇和總平面布置

　　4.1.1潔凈廠(chǎng)房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：

　　1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。

　　2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠(chǎng)、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。

　　3應(yīng)布置在廠(chǎng)區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。

　　4.1.2對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周?chē)F(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。

　　4.1.3潔凈廠(chǎng)房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。

　　4.1.4潔凈廠(chǎng)房周?chē)嗽O(shè)置環(huán)形消防車(chē)道，也可沿廠(chǎng)房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車(chē)道。

　　4.1.5潔凈廠(chǎng)房周?chē)牡缆访鎸討?yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

　　4.1.6潔凈廠(chǎng)房周?chē)鷳?yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜?，不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)?！?/span>

　　4.2工藝平面布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)

　　4.2.1工藝平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。

　　2在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房，空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。

　　3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。

　　4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線(xiàn)，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。

　　5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí)，宜設(shè)有防止污染的措施，如氣閘室、傳遞窗等。

　　6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線(xiàn)應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。

　　4.2.2潔凈廠(chǎng)房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置，并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線(xiàn)布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。

　　4.2.3潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間，但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔：

　　1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)，甲、乙類(lèi)與非甲、乙類(lèi)相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。

　　2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。

　　3生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。

　　4.2.4在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下，潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置，應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線(xiàn)等。

　　4.3人員凈化和物料凈化

　　4.3.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。

　　4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。

　　2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。

　　4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。

　　2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。

　　3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。

　　4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。

　　5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門(mén)。

　　6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。

　　7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。

　　4.3.4人流路線(xiàn)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1人流路線(xiàn)應(yīng)避免往復(fù)交叉。

　　2人員凈化用室和生活用室的布置應(yīng)按人員凈化程序(圖4.3.4)進(jìn)行布置。

 

　　圖4.3.4人員凈化程序

　　4.3.5根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定，并宜按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人2m2～4m2計(jì)算。

　　4.3.6潔凈工作服更衣室、洗滌室的空氣凈化要求宜根據(jù)產(chǎn)品工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)確定。

　　4.3.7潔凈室內(nèi)設(shè)備和物料出入口應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等特征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過(guò)程中被污染。

　　4.4噪聲控制

　　4.4.1潔凈室內(nèi)的空態(tài)噪聲級(jí)，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB(A)。

　　4.4.2潔凈室的噪聲頻譜限制應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)，空態(tài)噪聲頻譜的限制值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。

　　表4.4.2空態(tài)噪聲頻譜的限制值

 

　　4.4.3潔凈廠(chǎng)房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使其各部分隔聲量相接近。

　　4.4.4潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，宜設(shè)置專(zhuān)用隔聲或消聲設(shè)施。

　　4.4.5凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。

　　4.4.6根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜符合下列規(guī)定：

　　1總風(fēng)管風(fēng)速宜為6m/s～10m/s。

　　2無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為4m/s～6m/s。

　　3有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為2m/s～5m/s。

　　4.5微振控制

　　4.5.1有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。

　　2潔凈室與周?chē)o助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。

　　3應(yīng)測(cè)定潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)、外各類(lèi)振源對(duì)潔凈廠(chǎng)房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

　　4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí)，可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　4.5.3精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)具備下列條件：

　　1周?chē)裨磳?duì)其綜合影響的振動(dòng)數(shù)據(jù)。

　　2設(shè)備、儀器儀表的型號(hào)、規(guī)格及輪廓尺寸圖。

　　3設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

　　4設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。

　　5設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。

　　6設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。

　　7所選用或設(shè)計(jì)的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。

　　4.5.4精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1隔振臺(tái)座應(yīng)具有足夠的剛度。

　　2隔振臺(tái)座應(yīng)采取傾斜校正措施。

　　3隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。

　　4隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。

　　4.5.5精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對(duì)供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理。

　　5建筑

　　5.1一般規(guī)定

　　5.1.1潔凈廠(chǎng)房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。

　　5.1.2潔凈廠(chǎng)房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。

　　5.1.3潔凈廠(chǎng)房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠(chǎng)房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。

　　5.1.4送、回風(fēng)管和其他管線(xiàn)暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線(xiàn)需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線(xiàn)的安裝、檢修和防火要求。

　　5.1.5對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠(chǎng)房的平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。

　　5.2防火和疏散

　　5.2.1潔凈廠(chǎng)房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

　　5.2.2潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例應(yīng)符合本規(guī)范附錄B的規(guī)定。

　　5.2.3生產(chǎn)類(lèi)別為甲、乙類(lèi)生產(chǎn)的潔凈廠(chǎng)房宜為單層廠(chǎng)房，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠(chǎng)房宜為3000m2，多層廠(chǎng)房宜為2000m2。丙、丁、戊類(lèi)生產(chǎn)的潔凈廠(chǎng)房的防火分區(qū)最大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　5.2.4潔凈室的頂棚、壁板及夾芯材料應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚和壁板的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。

　　5.2.5在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠(chǎng)房，潔凈生產(chǎn)區(qū)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，隔墻上的門(mén)窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿隔墻或頂板的管線(xiàn)周?chē)障稇?yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。

　　5.2.6技術(shù)豎井井壁應(yīng)為不燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門(mén)的耐火極限不應(yīng)低于0.6h;豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔;穿過(guò)水平防火分隔的管線(xiàn)周?chē)障稇?yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。

　　5.2.7潔凈廠(chǎng)房每一生產(chǎn)層，每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)量不應(yīng)少于2個(gè)。當(dāng)符合下列要求時(shí)可設(shè)1個(gè)：

　　1對(duì)甲、乙類(lèi)生產(chǎn)廠(chǎng)房每層的潔凈生產(chǎn)區(qū)總建筑面積不超過(guò)100m2，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不超過(guò)5人。

　　2對(duì)丙、丁、戊類(lèi)生產(chǎn)廠(chǎng)房，應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置。

　　5.2.8安全出入口應(yīng)分散布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不應(yīng)經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線(xiàn)，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志，安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　5.2.9潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門(mén)應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并應(yīng)加閉門(mén)器。安全疏散門(mén)不應(yīng)采用吊門(mén)、轉(zhuǎn)門(mén)、側(cè)拉門(mén)、卷簾門(mén)以及電控自動(dòng)門(mén)。

　　5.2.10潔凈廠(chǎng)房同層潔凈室(區(qū))外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠(chǎng)房潔凈室(區(qū))的門(mén)窗，其門(mén)窗洞口間距大于80m時(shí)，應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專(zhuān)用消防口。

　　專(zhuān)用消防口的寬度不應(yīng)小于750mm，高度不應(yīng)小于1800mm，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層的專(zhuān)用消防口應(yīng)設(shè)置陽(yáng)臺(tái)，并從二層開(kāi)始向上層架設(shè)鋼梯。

　　5.2.11潔凈廠(chǎng)房外墻上的吊門(mén)、電控自動(dòng)門(mén)以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時(shí)提供消防人員進(jìn)入廠(chǎng)房的入口。

　　5.3室內(nèi)裝修

　　5.3.1潔凈廠(chǎng)房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對(duì)室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。

　　5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光，便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。

　　2踢腳不應(yīng)突出墻面。

　　3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜采用干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50210中高級(jí)抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開(kāi)裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。

　　5.3.3潔凈室地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室地面應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。

　　2潔凈室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗、不開(kāi)裂，且不易積聚靜電。

　　3地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)有防潮措施。

　　5.3.4潔凈廠(chǎng)房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面宜平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。

　　5.3.5潔凈室(區(qū))和人員凈化用室設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。

　　5.3.6潔凈室內(nèi)的密閉門(mén)應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開(kāi)啟，并應(yīng)加設(shè)閉門(mén)器，無(wú)窗潔凈室的密閉門(mén)上宜設(shè)觀察窗。

　　5.3.7潔凈室門(mén)窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室門(mén)窗、墻壁、頂棚、地(樓)面及施工縫隙均應(yīng)采取可靠的密閉措施。

　　2當(dāng)采用輕質(zhì)構(gòu)造頂棚做技術(shù)夾層時(shí)，夾層內(nèi)宜設(shè)檢修通道。

　　3潔凈室窗宜與內(nèi)墻面齊平，不宜設(shè)窗臺(tái)。

　　5.3.8潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)頂棚和墻面表面材料的光反射系數(shù)宜為0.6～0.8，地面表面材料的光反射系數(shù)宜為0.15～0.35。

　　5.3.9潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室的墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板。

　　5.3.10室內(nèi)裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)試驗(yàn)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。

　　6空氣凈化

　　6.1一般規(guī)定

　　6.1.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。

　　6.1.2應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的不同要求，選用不同的氣流流型。

　　6.1.3下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：

　　1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同。

　　2生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。

　　3對(duì)溫、濕度控制要求差別大。

　　4凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。

　　6.1.4潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

　　表6.1.4潔凈室的溫、濕度范圍

 

　　6.1.5潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：

　　1補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。

　　2保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

　　6.1.6潔凈區(qū)的清掃宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級(jí)為1級(jí)～5級(jí)的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。

　　6.1.7凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

　　6.2潔凈室壓差控制

　　6.2.1潔凈室(區(qū))與周?chē)目臻g必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

　　6.2.2不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

　　6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

　　6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。

　　負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

　　6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。

　　6.3氣流流型和送風(fēng)量

　　6.3.1氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室(區(qū))的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合表6.3.3的要求。空氣潔凈度等級(jí)要求嚴(yán)于4級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流;空氣潔凈度等級(jí)為4級(jí)～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流;空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)～9級(jí)時(shí)，應(yīng)采用非單向流。

　　2潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。

　　3潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。

　　6.3.2潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值：

　　1滿(mǎn)足空氣潔凈度等級(jí)要求的送風(fēng)量。

　　2根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。

　　3按本規(guī)范第6.1.5條的要求向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

　　6.3.3為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，應(yīng)按表6.3.3中的有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。

　　表6.3.3氣流流型和送風(fēng)量

 

　　注：1換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室;

　　2應(yīng)根據(jù)室內(nèi)人員、工藝設(shè)備的布置以及物料傳輸?shù)惹闆r采用上、下限值

　　6.3.4潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置應(yīng)考慮對(duì)氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺(tái)，非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺(tái)。

　　2需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。

　　3有發(fā)熱設(shè)備時(shí)，應(yīng)采取措施減少熱氣流對(duì)氣流分布的影響。

　　4余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。

　　6.4空氣凈化處理

　　6.4.1空氣過(guò)濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)合理選用空氣過(guò)濾器。

　　2空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。

　　3中效或高中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。

　　4亞高效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器作為末端過(guò)濾器時(shí)宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，超高效過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

　　5設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力、效率應(yīng)相近。

　　6高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡(jiǎn)便、可靠，易于檢漏和更換。

　　6.4.2對(duì)較大型的潔凈廠(chǎng)房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。

　　6.4.3凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。

　　6.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。

　　6.4.5嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。

　　6.5采暖通風(fēng)、防排煙

　　6.5.1空氣凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室不得采用散熱器采暖。

　　6.5.2潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。

　　6.5.3在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：

　　1排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性和發(fā)生交叉污染。

　　2排風(fēng)介質(zhì)中含有毒性的氣體。

　　3排風(fēng)介質(zhì)中含有易燃、易爆氣體。

　　6.5.4潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)防止室外氣流倒灌。

　　2含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)的防火防爆措施。

　　3排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放速率超過(guò)國(guó)家或地區(qū)有害物排放濃度及排放速率規(guī)定時(shí)，應(yīng)進(jìn)行無(wú)害化處理。

　　4對(duì)含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口。

　　6.5.5換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值應(yīng)低于潔凈區(qū)。

　　6.5.6根據(jù)生產(chǎn)工藝要求應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)、外便于操作處。

　　6.5.7潔凈廠(chǎng)房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈廠(chǎng)房中的疏散走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。

　　2潔凈廠(chǎng)房設(shè)置的排煙設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　6.6風(fēng)管和附件

　　6.6.1凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動(dòng)密閉閥、調(diào)節(jié)閥，送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動(dòng)密閉閥。

　　6.6.2下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥：

　　1風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。

　　2風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板處。

　　3垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。

　　6.6.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效空氣過(guò)濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板、擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

　　潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動(dòng)密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

　　6.6.4凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上宜采取消聲措施，滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)噪聲要求。

　　凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，宜采取消聲措施，滿(mǎn)足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

　　6.6.5在空氣過(guò)濾器的前、后應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。

　　6.6.6風(fēng)管、附件及輔助材料的耐火性能應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。

　　2排除有腐蝕性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。

　　3排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料，其耐火極限應(yīng)大于0.5h。

　　4附件、保溫材料、消聲材料和粘結(jié)劑等均采用不燃材料或難燃材料。

　　7給水排水

　　7.1一般規(guī)定

　　7.1.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不宜穿過(guò)。

　　7.1.2管道外表面可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑，易于清洗，并不得對(duì)潔凈室造成污染。

　　7.1.3管道穿過(guò)潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí)應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無(wú)法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。

　　7.2給水

　　7.2.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)符合生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，并應(yīng)分別設(shè)置。管道的設(shè)計(jì)應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動(dòng)。

　　7.2.2水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1循環(huán)附加水量應(yīng)為使用水量的30%～100%。

　　2干管流速應(yīng)為1.5m/s～3m/s。

　　3不循環(huán)的支管長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，其長(zhǎng)度不應(yīng)大于6倍管徑。

　　4供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。

　　5管道系統(tǒng)各組成部分應(yīng)密封，不得有滲氣現(xiàn)象。

　　7.2.3管材選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1純水管道的管材應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，可選擇不銹鋼管或工程塑料管。

　　2工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用熱鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管等。

　　3管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。

　　7.2.4循環(huán)冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。

　　7.2.5潔凈廠(chǎng)房周?chē)鷳?yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。

　7.3排水

　　7.3.1排水系統(tǒng)應(yīng)符合工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等要求。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排出。

　　7.3.2潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。

　　7.3.3潔凈室內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于6級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。

　　26級(jí)潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時(shí)，應(yīng)采用專(zhuān)用地漏。

　　3空氣潔凈度等級(jí)等于或嚴(yán)于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。

　　4空氣潔凈度等級(jí)等于或嚴(yán)于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過(guò)排水立管，其他潔凈室內(nèi)穿過(guò)排水立管時(shí)不應(yīng)設(shè)檢查口。

　　7.3.4潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。

　　7.3.5潔凈廠(chǎng)房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。

　　7.4消防給水和滅火設(shè)備

　　7.4.1潔凈廠(chǎng)房必須設(shè)置消防給水設(shè)施，消防給水設(shè)施設(shè)置設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性、建筑物耐火等級(jí)以及建筑物的體積等因素確定。

　　7.4.2潔凈廠(chǎng)房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　7.4.3潔凈室的生產(chǎn)層及可通行的上、下技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2只，水槍充實(shí)水柱長(zhǎng)度不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計(jì)算。

　　7.4.4潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)各場(chǎng)所必須配置滅火器，配置滅火器設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。

　　7.4.5潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時(shí)，除應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。

　　2當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對(duì)保護(hù)對(duì)象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。

　　8工業(yè)管道

　　8.1一般規(guī)定

　　8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無(wú)關(guān)的房間。

　　2干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。

　　3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。

　　4當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，必須采取可靠的濃度檢測(cè)報(bào)警、通風(fēng)措施。

　　8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。

　　8.1.3工業(yè)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。

　　2在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。

　　3應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。

　　4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。

　　8.1.4工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　8.1.5可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或最高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。

　　8.1.6氣體凈化裝置的選擇和配置應(yīng)符合氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處。

　　8.1.7氣體過(guò)濾器的選擇和配置應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過(guò)濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。

　　8.1.8潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)、生產(chǎn)類(lèi)別為現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016規(guī)定的甲、乙類(lèi)氣體、液體入口室或分配室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1當(dāng)毗連布置時(shí)，應(yīng)設(shè)在單層廠(chǎng)房靠外墻或多層廠(chǎng)房的最上一層靠外墻處，并應(yīng)與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。

　　2應(yīng)有良好的通風(fēng)。

　　3泄壓設(shè)施和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　8.2管道材料和閥門(mén)

　　8.2.1工業(yè)管道材料和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)所輸送物料的物化性質(zhì)和使用工況選用，并應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求和使用特點(diǎn)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

　　8.2.2高純氣體管道和閥門(mén)的選用應(yīng)符合生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1當(dāng)氣體純度大于或等于99.999%，露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門(mén)宜采用隔膜閥或波紋管閥。

　　2當(dāng)氣體純度大于或等于99.99%，露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。

　　8.2.3當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-70℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管;當(dāng)露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管。閥門(mén)宜采用波紋管閥或球閥。

　　8.2.4閥門(mén)材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)相適應(yīng)。

　　8.3管道連接

　　8.3.1工業(yè)管道的連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。

　　2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對(duì)接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無(wú)斑痕的對(duì)接焊。

　　8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。

　　8.3.3管道與管道、管道與閥門(mén)連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。

　　2高純氣體管道與閥門(mén)連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。

　　8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的露點(diǎn)溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應(yīng)平整、光潔，宜采用金屬外殼保護(hù)。

　　8.4安全技術(shù)

　　8.4.1下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)連鎖：

　　1生產(chǎn)類(lèi)別為甲類(lèi)的氣體、液體入口室或分配室。

　　2管廊，上、下技術(shù)夾層，技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w的易積聚處。

　　3潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。

　　8.4.2可燃?xì)怏w管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

　　1接至用氣設(shè)備的支管宜設(shè)置阻火器。

　　2引至室外的放散管應(yīng)設(shè)置阻火器，并應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施。

　　3應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

　　8.4.3氧氣管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：

　　1管道及其閥門(mén)、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。

　　2應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

　　8.4.4工業(yè)管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。

　　8.4.5各種氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠(chǎng)房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

　　9電氣

　　9.1配電

　　9.1.1潔凈廠(chǎng)房低壓配電設(shè)計(jì)應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線(xiàn)制、三相三線(xiàn)制、三相四線(xiàn)制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

　　9.1.2潔凈廠(chǎng)房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專(zhuān)用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€(xiàn)路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專(zhuān)線(xiàn)供電。

　　9.1.3潔凈廠(chǎng)房消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計(jì)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑防火設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50016有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　9.1.4電源進(jìn)線(xiàn)應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點(diǎn)。

　　9.1.5潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。

　　9.1.6潔凈室內(nèi)的電氣管線(xiàn)宜暗敷，穿線(xiàn)導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線(xiàn)管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

　　9.2照明

　　9.2.1潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，可采用其他形式光源。

　　9.2.2潔凈室內(nèi)一般照明燈具應(yīng)為吸頂明裝。當(dāng)燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。潔凈室應(yīng)采用潔凈室專(zhuān)用燈具。

　　9.2.3無(wú)采光窗的潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標(biāo)準(zhǔn)值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。

　　9.2.4潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。

　　9.2.5潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。

　　2備用照明宜作為正常照明的一部分。

　　3備用照明應(yīng)滿(mǎn)足所需場(chǎng)所或部位進(jìn)行必要活動(dòng)和操作的最低照度。

　　9.2.6潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置疏散標(biāo)志。在專(zhuān)用消防口處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。

　　9.2.7潔凈廠(chǎng)房中有爆炸危險(xiǎn)的房間的照明燈具和電氣線(xiàn)路的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

　　9.3通信

　　9.3.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠(chǎng)房?jī)?nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設(shè)生產(chǎn)對(duì)講電話(huà)。

　　9.3.2潔凈廠(chǎng)房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。

　　9.3.3潔凈廠(chǎng)房的生產(chǎn)層、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警探測(cè)器。潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。

　　9.3.4潔凈廠(chǎng)房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，并不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應(yīng)設(shè)置消防專(zhuān)用電話(huà)總機(jī)。

　　9.3.5潔凈廠(chǎng)房的消防控制設(shè)備及線(xiàn)路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行下列消防聯(lián)動(dòng)控制：

　　1應(yīng)啟動(dòng)室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號(hào)。除自動(dòng)控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動(dòng)直接控制裝置。

　　2應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)及新風(fēng)機(jī)，并應(yīng)接收其反饋信號(hào)。

　　3應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)。

　　4應(yīng)控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。

　　5在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。

　　6應(yīng)啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音機(jī)，進(jìn)行人工或自動(dòng)播音。

　　7應(yīng)控制電梯降至首層，并接收其反饋信號(hào)。

　　9.3.6潔凈廠(chǎng)房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場(chǎng)所及入口室或分配室應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測(cè)器。有毒氣體、液體的貯存和使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)氣體檢測(cè)器。報(bào)警信號(hào)應(yīng)聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)或手動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)將報(bào)警信號(hào)送至消防控制室。

　　9.4自動(dòng)控制

　　9.4.1潔凈廠(chǎng)房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動(dòng)監(jiān)控裝置。

　　9.4.2潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機(jī)。

　　9.4.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)裝置。當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)裝置。

　　9.5靜電防護(hù)及接地

　　9.5.1潔凈廠(chǎng)房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護(hù)措施。

　　9.5.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定。

　　2地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105Ω/□～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。

　　3地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105Ω～1.0×109Ω。

　　9.5.3潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。

　　9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

　　9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。

　　在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。

　　9.5.6潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線(xiàn)應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。

　　9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠(chǎng)房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。

　　附錄A潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試和認(rèn)證

　　A.1通則

　　A.1.1潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)監(jiān)測(cè)或定期進(jìn)行性能測(cè)試，以認(rèn)證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。

　　A.1.2潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試認(rèn)證工作應(yīng)由專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并提交檢測(cè)報(bào)告。

　　A.1.3測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試和監(jiān)測(cè)儀表應(yīng)在標(biāo)定證書(shū)有效使用期內(nèi)。

　　A.2潔凈室或潔凈區(qū)性能測(cè)試要求

　　A.2.1潔凈室或潔凈區(qū)應(yīng)進(jìn)行下列三項(xiàng)測(cè)試：

　　1空氣潔凈度測(cè)試。生物潔凈室應(yīng)進(jìn)行浮游菌、沉降菌測(cè)試。

　　2靜壓差測(cè)試。

　　3風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試。

　　A.2.2潔凈室或潔凈區(qū)的三項(xiàng)測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1空氣潔凈度測(cè)試應(yīng)符合表A.2.2-1的規(guī)定。

　　表A.2.2-1空氣潔凈度測(cè)試

 

　　2靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試應(yīng)符合表A.2.2-2的規(guī)定。

　　表A.2.2-2靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試

 

　　A.2.3當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速或風(fēng)量、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，并且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求，則認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間可與認(rèn)證單位洽商，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證可進(jìn)行靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，應(yīng)洽商確定。

　　2風(fēng)量測(cè)定采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。

　　A.2.4潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測(cè)試要求應(yīng)符合表A.2.4的規(guī)定。

　　表A.2.4潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測(cè)試

 

　　A.3潔凈室主要測(cè)試方法

　　A.3.1風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1對(duì)于單向流潔凈室，采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，測(cè)點(diǎn)位于高效過(guò)濾器出風(fēng)面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測(cè)點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于4點(diǎn)，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

　　2對(duì)于非單向流潔凈室，采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量，可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50243規(guī)定的方法執(zhí)行。

　　A.3.2靜壓差測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在潔凈室(區(qū))的風(fēng)速、風(fēng)量和送風(fēng)均勻性檢測(cè)合格后進(jìn)行，并應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)檢測(cè)。

　　2儀器宜采用各種微差壓力計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

　　A.3.3已安裝過(guò)濾器檢漏測(cè)試應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1檢漏方法有光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法。

　　2在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)應(yīng)引入測(cè)試用氣溶膠，在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)用光度計(jì)或粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動(dòng)，并應(yīng)注意安裝交接處的掃描。

　　A.3.4密閉性測(cè)試應(yīng)用于確認(rèn)有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。一般適用于1級(jí)至5級(jí)的潔凈室(區(qū))進(jìn)行測(cè)試。采用光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測(cè)試。

　　A.3.5潔凈度的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，在儀器選用時(shí)應(yīng)考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。

　　2最少采樣點(diǎn)數(shù)應(yīng)按下式計(jì)算：

　　NL=A0.5(A.3.5-1)

　　式中：NL——最少采樣點(diǎn);

　　A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

　　3采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個(gè)面積內(nèi)，并位于工作活動(dòng)的高度，活動(dòng)高度宜距地面0.8m;每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為1min。

　　4每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)至少為2L，采樣量應(yīng)按下式計(jì)算：

 

　　式中：VS——每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量，以L(fǎng)表示;當(dāng)VS很大時(shí)，可使用順序采樣法;

　　Cn·m——被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(pc/m3);

　　20——在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí)，可測(cè)到的粒子顆數(shù)(pc)。

　　5當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

　　A.3.6對(duì)超出等級(jí)范圍粒子的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時(shí)，可按等級(jí)粒徑范圍之外的粒子濃度規(guī)定空氣潔凈度的水平。此類(lèi)粒子的最大允許濃度和檢測(cè)方法應(yīng)由客戶(hù)與建造商協(xié)商確定。

　　2當(dāng)需評(píng)價(jià)小于0.1μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨(dú)立應(yīng)用U描述符說(shuō)明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)的補(bǔ)充說(shuō)明。

　　U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3)，y為以微米計(jì)的粒徑。

　　例如：粒徑范圍等于或大于0.01μm的最大允許超微粒子的濃度為140000個(gè)/m3，應(yīng)表示為“U(140000，0.01μm)”。

　　3當(dāng)需評(píng)價(jià)大于5μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和方法?？瑟?dú)立應(yīng)用M描述符說(shuō)明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)的補(bǔ)充說(shuō)明。

　　M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m3)，b為與規(guī)定的大粒子測(cè)量方法相應(yīng)的當(dāng)量直徑(μm)，c為規(guī)定的測(cè)量方法。

　　例如：采用顯微鏡對(duì)多級(jí)撞擊采樣器采集的粒子進(jìn)行檢測(cè)，測(cè)量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個(gè)/m3，則用M描述符表示為“M(1000;10μm～20μm);多級(jí)撞擊采樣器以顯微鏡測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)”。

　　A.4監(jiān)測(cè)

　　A.4.1按照雙方協(xié)議書(shū)的規(guī)定進(jìn)行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數(shù)的監(jiān)測(cè)。

　　A.4.2雙方協(xié)議書(shū)中應(yīng)明確測(cè)量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點(diǎn)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測(cè)量次數(shù)、測(cè)量時(shí)間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值。

　　A.4.3當(dāng)監(jiān)測(cè)結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值時(shí)，則應(yīng)認(rèn)定設(shè)施不符合要求，應(yīng)進(jìn)行修正;修正后應(yīng)再進(jìn)行認(rèn)證檢測(cè)。當(dāng)監(jiān)測(cè)結(jié)果在規(guī)定限值內(nèi)，可繼續(xù)監(jiān)測(cè)。

　　A.5認(rèn)證

　　A.5.1按雙方協(xié)議書(shū)的規(guī)定及第A.2節(jié)的要求，按第A.3節(jié)的方法進(jìn)行測(cè)試，當(dāng)測(cè)試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)時(shí)，可認(rèn)定該潔凈室符合規(guī)定要求。當(dāng)測(cè)試結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，可認(rèn)定該潔凈室不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

　　A.5.2記錄數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1在空氣潔凈度測(cè)試中，當(dāng)測(cè)點(diǎn)在1點(diǎn)～10點(diǎn)時(shí)，應(yīng)計(jì)算平均中值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、標(biāo)準(zhǔn)誤差和由全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度導(dǎo)出95%置信上限值。

　　2當(dāng)采樣點(diǎn)超過(guò)10點(diǎn)時(shí)，應(yīng)計(jì)算算術(shù)平均值，并按算術(shù)平均值進(jìn)行空氣潔凈度等級(jí)的評(píng)價(jià)。

　　A.5.3每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)做記錄，并應(yīng)提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容：

　　1測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱(chēng)、地址。

　　2測(cè)試日期和測(cè)試者簽名。

　　3執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)出版日期。

　　4被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。

　　5被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。

　　6測(cè)量用的儀器編號(hào)和標(biāo)定證書(shū)，測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況。

　　7測(cè)試結(jié)果包括在全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。

　　8對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。

　　9注明上次的測(cè)試日期。

　　10設(shè)施的測(cè)試文件可作為下次監(jiān)測(cè)計(jì)劃的依據(jù)。

　　A.5.4測(cè)試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書(shū)、再檢驗(yàn)證書(shū)。

　　附錄B潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例

　　表B潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例

 

　　附錄C凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求

　　C.0.1潔凈室的凈化空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù)宜按表C.0.1的規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

　　表C.0.1潔凈室的凈化空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù)

 

　　C.0.2當(dāng)出現(xiàn)下列任何一種情況時(shí)，應(yīng)更換高效空氣過(guò)濾器：

　　1氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過(guò)濾器后，氣流速度仍不能增大。

　　2高效空氣過(guò)濾器的阻力達(dá)到初阻力的1.5倍～2.0倍。

　　3高效空氣過(guò)濾器出現(xiàn)無(wú)法修補(bǔ)的滲漏。

　　C.0.3當(dāng)潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)采用高效真空吸塵器進(jìn)行清掃時(shí)，應(yīng)定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。

　　本規(guī)范用詞說(shuō)明

　　1為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)區(qū)別對(duì)待，對(duì)要求嚴(yán)格程度不同的用詞說(shuō)明如下：

　　1)表示很?chē)?yán)格，非這樣做不可的：

　　正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”;

　　2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的;

　　正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”;

　　3)表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的：

　　正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”;

　　4)表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。

　　2條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫(xiě)法為：“應(yīng)符合……的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。