半導體凈化車間設計

       半導體凈化車間設計的設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理等等，下面合景凈化工程公司就車間設計方案解析如下（非標準，下文僅供參考）。

合景凈化工程公司實拍案例

一、結構圍護工程

合景凈化工程BIM技術場景

三、特種氣體工程

生產廢氣排放源及組成表

       廢氣來源組成外延工序SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工序H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等光刻工序異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等化學機械拋光NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機酸鹽化學氣相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3擴散、離子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6金屬化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。

       由于設備用水的級別各不相同，可以在本設計流程中的某段引出合適的使用點即可。對于超純水必須采用UPVC材質（因金屬管道會析出離子），特別對于圓晶的生產，超純水會對額定的離子限值嚴格，所以采用進口的UPVC純水管道對產品質量有保證。